質(zhì)量流量控制器（MFC）中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén)，閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿(mǎn)量程，在工作的過(guò)程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于最低值（0.1 MPa），有可能控制達(dá)不到滿(mǎn)量程值;若高于最高值（0.3MPa），有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí)，無(wú)論用戶(hù)工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
