大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵
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yaozuo668 發(fā)布時間：2017-10-20 10:47:00
大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，大金柱塞泵是液壓系統(tǒng)的一個重要裝置。它依靠柱塞在缸體中往復(fù)運動，使密封工作容腔的容積發(fā)生變化來實現(xiàn)吸油、壓油。柱塞泵具有額定壓力高、結(jié)構(gòu)緊湊、效率高和流量調(diào)節(jié)方便等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于高壓、大流量和流量需要調(diào)節(jié)的場合，諸如液壓機(jī)、工程機(jī)械和船舶中。大金柱塞泵性能概述有如下：V型柱塞泵，以獨特設(shè)計斜盤變化角度功能。廣泛應(yīng)用于各種場所。特殊設(shè)計，在全壓力區(qū)內(nèi)，保持低噪音性能。由多種控制方式整合，能形成系統(tǒng)，具有省能源、小型化、低成本功能等優(yōu)點。功率損失小、減低油溫上升、可選配較小型油箱。廣泛應(yīng)用于工具機(jī)、機(jī)慶、鍛壓、塑料成形機(jī)等。低噪音，每個系列中所有壓力范圍都實現(xiàn)了低噪聲音運轉(zhuǎn)，高效率。大金柱塞泵特點高密度介質(zhì)排出：因采用了支撐斜盤，實現(xiàn)了小型輕量化、高壓化，從而提高了單位重量的輸出功率。低工作噪音：在提高斜盤構(gòu)造剛性的同時，采用最新測量分析技術(shù)設(shè)計的機(jī)架，使運轉(zhuǎn)噪音大大降低。高效率：采用球閥板和適宜的油壓平衡，擴(kuò)展了運轉(zhuǎn)條件且產(chǎn)生高效率。長效運轉(zhuǎn)：由于采用了優(yōu)良的耐磨型球閥板，強(qiáng)化了抗污染特性。
大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，復(fù)合壓力控制D:V15D12RAX-95,V15D12RBX-95,V15D12RPX-95,V15D12RNX-95,V23D12RAX-35,V23D12RBX-35,V23D12RPX-35,V23D12RNX-35,V38D12RAX-95,V38D12RBX-95,V38D12RPX-95,V38D12RNX-95,壓力補償控制A:V8A1RX-20,V15A1RX-95,V15A2RX-95,V15A3RX-95,V23A1RX-30,V23A2RX-30,V23A3RX-30,V23A4RX-30,V38A1RX-95,V38A2RX-95,V38A3RX-95,V38A4RX-95,V50A1RX-20,V50A2RX-20,V50A3RX-20,V70A1RX-60,V70A2RX-60,V70A3RX-60, 詳細(xì)型號如下，壓力補償控制A，V8A1RX-20、V8A1R-20、V8A1LX-20、V8A1L-20、V15A1RX-95、V15A2RX-95、V15A3RX-95、V15A1R-95、V15A2R-95、V15A3R-95、 V15A1LX-95、V15A2LX-95、V15A3LX-95、V15A1L-95、V15A2L-95、V15A3L-95、V15A3RX-95RC、V15A3R-95RC、V15A3LX-95RC、V15A3L-95RC, V23A1RX-30、V23A2RX-30、V23A3RX-30、V23A4RX-30、V23A1R-30、V23A2R-30、V23A3R-30、V23A4R-30、V23A1LX-30、V23A2LX-30、V23A3LX-30、V23A4LX-30、V23A1L-30、V23A2L-30、V23A3L-30、V23A4L-30、V23A3RX-30RC、V23A4RX-30RC、V23A3R-30RC、V23A4R-30RC、 V23A3LX-30RC、V23A4LX-30RC、23A3L-30RC、
V23A4L-30RC、V38A1RX-95、V38A2RX-95、V38A3RX-95、V38A4RX-95、V38A1R-95、V38A2R-95、V38A3R-95、V38A4R-95、V38A1LX-95、V38A2LX-95、V38A3LX-95、V38A4LX-95、V38A1L-95、V38A2L-95、V38A3L-95、V38A4L-95、V38A3RX-95RC、V38A4RX-95RC、V38A3R-95RC、在磁場的作用下，電子在向陽極運動的過程中，作螺旋運動，束縛和延長了電子的運動軌跡，從而提高了電子對工藝氣體的電離幾率，有效地利用了電子的能量，因而在形成高密度等離子體的異常輝光放電中，正離子對靶材轟擊所引起的靶材濺射更加有效。同時受正交電磁場的束縛，電子只有在其能量消耗盡時才能落在玻璃上，從而使磁控濺射具有高速、低溫的優(yōu)點。
2 靶材狀況
大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，通過對數(shù)套靶從開始使用到報廢全過程的觀察、記錄、分析，我們發(fā)現(xiàn)有非常一致性的規(guī)律，表1是一套靶報廢時的實測參數(shù)，其他靶的參數(shù)略有不同，但變化很小，規(guī)律一致。通過表1的實物測量數(shù)據(jù)，我們可以看出：V38A4R-95RC、V38A3LX-95RC、V38A4LX-95RC、V38A3L-95RC、V38A4L-95RC、V50A1RX-20、V50A2RX-20、V50A3RX-20、V50A1R-20、V50A2R-20、V50A3R-20、 V50A1LX-20、V50A2LX-20、V50A3LX-20、V50A1L-20、V50A2L-20、V50A3L-20、V50A3RX-20RC、V50A3R-20RC、V50A3LX-20RC、V50A3L-20RC、 V70A1RX-60、V70A2RX-60、V70A3RX-60、V70A1R-60、V70A2R-60、V70A3R-60、V70A1LX-60、V70A2LX-60、V70A3LX-60、V70A1L-60、V70A2L-60、V70A3L-60、V70A3RX-60RC、V70A3R-60RC、V70A3LX-60RC、V70A3L-60RC、組合控制C---自動調(diào)壓法H，V15C12RHX-95、V15C13RHX-95、V15C23RHX-95、V15C11RHX-95、V15C22RHX-95、V23C12RHX-30、V23C13RHX-30、V23C14RHX-30、V23C23RHX-30、V23C24RHX-30、V23C11RHX-30、V23C22RHX-30、V38C12RHX-95、V38C13RHX-95、V38C14RHX-95、V38C23RHX-95、V38C24RHX-95、V38C11RHX-95、V38C22RHX-95、V70C12RHX-60、V70C13RHX-60、V70C23RHX-60、V70C11RHX-60、V70C22RHX-60、本文根據(jù)進(jìn)口磁控鍍膜玻璃生產(chǎn)線使用、維護(hù)經(jīng)驗，詳細(xì)論述了通過調(diào)整陰極靶材磁場，如何有效增強(qiáng)靶材利用率。
論文關(guān)鍵詞：靶材,利用率,磁控濺射,磁場
有些國產(chǎn)單室磁控濺射設(shè)備的廠家采用補焊的方法來延長不銹鋼靶的壽命，由于其對鍍膜玻璃膜層質(zhì)量要求不高，該方法效果不錯，但使用進(jìn)口連續(xù)生產(chǎn)線的廠家，還沒有人采用該方法。
靶材濺射溝較深的幾個點，其濺射率最高，不但浪費靶材，還造成鍍膜玻璃膜層在橫向上不均勻。如果能降低濺射溝較深處幾點的磁場，不僅能提高膜層橫向均勻度，而且能延長靶材壽命，提高靶材利用率。
1 磁控濺射的工藝原理
在充入少量工藝氣體的真空室內(nèi)，當(dāng)極間電壓很小時，只有少量離子和電子存在，電流密度在10-15A/cm2數(shù)量極，當(dāng)陰極（靶材）和陽極間電壓增加時，帶電粒子在電場的作用下加速運動，能量增加，與電極或中性氣體原子相碰撞，產(chǎn)生更多的帶電粒子，直至電流達(dá)到10-6A/cm2數(shù)量極，當(dāng)電壓再增加時，則會產(chǎn)生負(fù)阻效應(yīng)，即“雪崩”現(xiàn)象。此時離子轟擊陰極，擊出陰極原子和二次電子，二次電子與中性原子碰撞，產(chǎn)生更多離子，此離子再轟擊陰極，又產(chǎn)生二次電子，如此反復(fù)。當(dāng)電流密度達(dá)到0.01A/cm2數(shù)量級左右時，電流將隨電壓的增加而增加，形成高密度等離子體的異常輝光放電，高能量的離子轟擊陰極（靶材）產(chǎn)生濺射現(xiàn)象。濺射出來的高能量靶材粒子沉積到陽極（玻璃毛坯）上，從而達(dá)到鍍膜的目的。
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