超凈室是一種嚴(yán)格要求衛(wèi)生環(huán)境的房間，主要用于光學(xué)器件制做，超凈室內(nèi)可以進(jìn)行涂膠、光刻、蒸發(fā)鍍膜及鍵合，清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴(kuò)散及研磨等。
(1) 在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)隔離口設(shè)有“TJ —1”型單人定時(shí)冷熱風(fēng)淋室,它是工作人員進(jìn)入超凈室的凈化關(guān)口。
(2) 在非潔凈區(qū)設(shè)有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進(jìn)入超凈室。
(3) 設(shè)有室內(nèi)對(duì)外器件、物品傳遞窗。
(4) 室內(nèi)面積達(dá)24m2 ,其工作潔凈度達(dá)1000 級(jí),在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺(tái)以及凈化涂膠機(jī),工作潔凈度達(dá)100 級(jí)。
(5) 室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過(guò)濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。
(6) 在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺(tái)及電鍍腐蝕工作臺(tái)設(shè)置了立的對(duì)外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染?？照{(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。
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