超凈工作臺的結構
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zznanbei 發(fā)布時間：2020-08-11 11:21:37
超凈工作臺目前在各個領域已經(jīng)得到了應用,對于潔凈度要求比較苛刻的航天航空，超凈工作臺的重要作用尤其的明顯!
空氣的過濾生產(chǎn)環(huán)境初是由航空航天行業(yè)使用的。即使是微小的缺陷也會導致衛(wèi)星故障，因此NASA及其服務提供商建造了帶有過濾天花板的夾層和過濾墻的車間。它還率先提出了許多基本的污染控制概念，包括從工作人員干凈的衣服到潔凈室使用的管理方法。
半導體工業(yè)在這方面采用了很多技術，但其中一個主要問題是，當小型加工車間擴大為一個工人較多的大型車間時，很難保持其固有的清潔。在半導體工業(yè)早期，過濾天花板夾層和墻壁的方法演變成超干凈的工作臺法。這主要是將過濾器安裝在一個工作臺上，使用一種不掉下來的材料。在工作臺外，晶片被儲存和運輸在一個密封的盒子里。
在一個大型車間里，一個連續(xù)的工作臺(叫做工作層流罩)形成了一個加工區(qū)域，使晶片按工序的順序通過，不會暴露在空氣中。清潔工作蓋中的過濾器是一種高效的粒子收集過濾器。這些過濾器是由脆性纖維組成的，根據(jù)手風琴的葉子包含許多孔和折疊。由于孔密度高，過濾層面積大，大量空氣低速流過。
由于低速空氣可以避免空氣流動，有利于工作臺的清潔，也需要操作人員在舒適的環(huán)境中工作。典型的空氣流量為每分鐘90至100英寸。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率，可用于三種凈化方法。
通常，高效過濾器安裝在超干凈工作臺的頂部。風機先通過前過濾器吸入空氣，然后通過HEPA過濾器吸入空氣，然后以均勻和平行的方式流出，改變工作臺表面的方向并流出工作臺。安裝板可以控制晶圓表面的氣流方向，通常稱為空氣層流垂直工作臺(VLF)工作臺，這是以空氣流動方向命名的。
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