| 品牌 | 哈默納科 | 貨號(hào) | 123 |
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| 規(guī)格 | SHD-32-100-2SH | 供貨周期 | 一個(gè)月以上 |
| 主要用途 | 設(shè)備 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
| 名稱(chēng) | 哈默納科 | 用途 | 半導(dǎo)體、機(jī)器人、機(jī)械設(shè)備 |
| 材質(zhì) | 鋼 | 是否進(jìn)口 | 是 |
電能轉(zhuǎn)化為化學(xué)能，哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH產(chǎn)生輻射化學(xué)或物理效應(yīng)，使電子膠的分子鏈被切斷或重新組合而形成分子量的變化以實(shí)現(xiàn)電子束曝光。采用這種方法，可以實(shí)現(xiàn)材料表面微槽或其他幾何形狀的刻蝕加工。
2.特點(diǎn)
1)由于電子束能夠極其微細(xì)地聚焦，甚至能聚焦到O.lE}m}所以加工面積可以很小，是一種精密微細(xì)的加工方法。微型機(jī)械中的光刻技術(shù)可達(dá)到亞微米級(jí)寬度。
電子束加工設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)主要由電子槍、真空系統(tǒng)、控制棄統(tǒng)和電源等部分組成。
電子槍是獲得電子束的裝置，它包括電子發(fā)射陰極、控制柵極和加速陽(yáng)極等。陰極經(jīng)能流加熱發(fā)射電子，帶負(fù)電荷的電子高速飛向帶高電位的陽(yáng)極。在飛向陽(yáng)極的過(guò)程中，經(jīng)過(guò)力!速極加速，又通過(guò)電磁透鏡把電子束聚焦成很小的束斑。
發(fā)射陰極一般用鎢或擔(dān)制成，在加熱狀態(tài)下發(fā)射大量電子。小功率時(shí)用鎢或擔(dān)做成些狀陰極，大功率時(shí)用擔(dān)做成塊狀陰極哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH，控湘柵極為中間有孔的圓筒形，其上加以較陰極為負(fù)的偏壓，既能控制電子束的強(qiáng)弱，又有初步的聚焦作用。加速陽(yáng)極通常接地，而陰極為很高的負(fù)電壓，所以能驅(qū)使電子加速。
