廣州潽拓光電科技有限公司維修Alcatel ATH1600M法國(guó)阿爾卡特磁懸浮分子泵,Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF,出氣法蘭口DN40 ISO-KF,抽速可達(dá)到1400 L/s,極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為15000-39000rpm,Alcatel ATH1600MT磁懸浮分子泵對(duì)應(yīng)的控制器為:Alcatel ACT 1600M。