Oerlikon Leybold 渦輪分子真空泵
機(jī)械、混合和磁懸浮高真空泵
渦輪分子真空泵用于需要清潔高真空或***真空的應(yīng)用，例如核聚變的研究與開發(fā)，或涂層工業(yè)和分析儀器等工業(yè)領(lǐng)域。
原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪機(jī)，其中渦輪機(jī)的級(jí)裝有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是固定的定子盤，其葉片以相反的方向排列。
通過從旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞，氣體分子***初非定向熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋玫娜肟诜ㄌm沿軸向前真空法蘭的方向運(yùn)動(dòng)。
在分子流動(dòng)范圍內(nèi)（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為零點(diǎn)幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內(nèi)（即壓力超過 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。
