型號 |
Altia350 |
Altia600 |
Altia Premium 350 |
Altia Premium 600 |
測量范圍 |
370mm |
620mm |
370mm |
620mm |
應(yīng)用范圍 |
450mm |
700mm |
450mm |
700mm |
垂直度誤差 |
15um |
20um |
8um |
12um |
最大允許誤差 |
15um |
20um |
3+L(mm)/175um | |
重復(fù)性 |
2um |
2um | ||
操作時間 |
100小時(不使用氣?。?/DIV> |
40小時(不使用氣?。?/DIV> | ||
標(biāo)準(zhǔn)測力 |
0.8N |
0.8N | ||
分辨率 |
0.001mm |
0.001mm | ||
最大移動速度 |
1.5m/秒 |
1.5m/秒 | ||
數(shù)據(jù)輸出接口 |
RS232C |
RS232C | ||
氣浮功能 |
無 |
有 | ||
環(huán)境溫度 |
+10℃-+40℃ |
+10℃-+40℃ |