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名稱 |
內(nèi)容 | ||
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測量范圍 |
Z軸（垂直） |
160μm | |
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X軸（水平） |
17.5mm | ||
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分辨率 |
Z軸（垂直） |
0．01μm/±20μm | |
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0．02μm/±40μm | |||
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0．04μm/±80μm | |||
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測量項(xiàng)目 |
參數(shù) |
Ra、Rq、Rz、Rt | |
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標(biāo)準(zhǔn) |
ISO、GB | ||
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濾波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P | ||
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取樣長度(lr) |
0.25，0.8，2.5 (mm) | ||
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評定長度（ln） |
Ln= lr×n n=5 | ||
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傳感器 |
測量原理 |
位移式差動電感 | |
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觸針 |
天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑 | ||
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測力 |
<4mN | ||
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導(dǎo)頭 |
紅寶石，滑行方向半徑40mm | ||
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s | ||
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lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | |||
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lr=2. 5, Vt=1mm/s | |||
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返回 Vt=1mm/s | |||
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示值誤差 |
不大于±10% | ||
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示值變動性 |
不大于6% | ||
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電源 |
內(nèi)置鋰離子充電電池，用8.4V,1000mA充電器充電 | ||
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外形尺寸 |
119×47×65mm | ||
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重量 |
約380g | ||
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TR210主機(jī) |
1臺 |
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標(biāo)準(zhǔn)傳感器 |
1支 |
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多刻線標(biāo)準(zhǔn)樣板 |
1塊 |
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電源適配器（220V,50Hz） |
1個(gè) |
