在線尺寸測(cè)量
高速、高分辨率，同時(shí)保持穩(wěn)定，超精密測(cè)量。理想的精密階段，半導(dǎo)體檢驗(yàn)/制造系統(tǒng)，以及超精密加工機(jī)。
?高分辨率的規(guī)模與信號(hào)的波長(zhǎng)比光波的干涉儀系統(tǒng)approx138nm，
?穩(wěn)定性高，不受濕度，空氣壓力和空氣的擾動(dòng)
?參考點(diǎn)精度：±0.1μ米
?準(zhǔn)確度：±0.04μ米或更好（測(cè)量長(zhǎng)度：40毫米）
?完全非接觸式設(shè)計(jì)，返回錯(cuò)誤幾乎是消除。
?特殊磁性和真空兼容型號(hào)
?使用低膨脹玻璃：- 0.7×10 - 6/℃（測(cè)量長(zhǎng)度：10至420毫米）
