SMX-BEN 薄膜測厚儀
SMX-BEN 屬高階的薄膜太陽能電池分析儀
薄膜太陽能電池CIGS/CdTe分析儀
可分析范圍：
(1)分析CIGS各鍍層的厚度及成份同時測量。
(2)分析CdTe之各鍍層的厚度及成份同時測量。
(3)三、五族元素各鍍層的成分比例及厚度分析
SMX-BEN 薄膜測厚儀技術參數
最大50kV，多段電壓切換
4-1000μA，可做自動調整設定
共五個濾波器，自動切換
電冷式偵測器
SMX-BEN 薄膜測厚儀主要特點
1. 全球唯一能提供NIST等級的標準樣品，與美國NREL共同合作。
2. 超大樣品室，H:56cmXW;54cmXD74cm
3. 可直接儲存及建立各種鍍層的Protocol參數，可設定多點分析，以確定製程品質。
4. 針對CIGS各種鍍層材質的濾光片，共5種
5. X-Y-Z三軸自動定位，軸承最長距離為8”X8”X6”，並有自動聚焦功能
6. 具有表面相對等距自動調整系統(tǒng)
7. 採用自然光，LED白光，無色差
8. 採用最新高科技的高靈敏度的電子式冷卻偵測器
9. 具有防撞安全裝置
10. 具有操作時輻射安全裝置
