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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品價(jià)格:¥面議
上架日期:2021-10-20 09:52:09
產(chǎn)地:青島
發(fā)貨地:本地至全國
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
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詳細(xì)說明
    可完全代替進(jìn)口爐體,--加熱爐絲,進(jìn)口保溫材料,采用國外先進(jìn)加工工藝,爐體可長期使用在高溫下,處理12英寸以下硅片,工作溫度2000℃-1286℃。
    設(shè)備特點(diǎn):?
    可保存多條工藝曲線每條曲線可設(shè)置多步
    工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能
    工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能
    自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能
    可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
    PID參數(shù)自整定功能
    工藝氣體的程序控制功能
    關(guān)鍵部件全部具有高可靠性
    具有良好的人機(jī)界面
    系統(tǒng)故障自診功能
    停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等
    具有歷史記錄功能
    具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
    技術(shù)指標(biāo):
    可配置工藝管外徑2~8英寸
    可配置工藝管數(shù)量:1~4管/臺(tái)
    工作溫度范圍:400~1300℃
    恒溫區(qū)長度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
    單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:800~1300℃±0.5℃/24h
    大可控升溫速率:15℃/min
    大降溫速率:5℃/min?
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