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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品價(jià)格：￥面議
上架日期：2021-10-20 09:52:09
產(chǎn)地：青島
發(fā)貨地：本地至全國
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺(tái)
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詳細(xì)說明
    可完全代替進(jìn)口爐體，--加熱爐絲，進(jìn)口保溫材料，采用國外先進(jìn)加工工藝，爐體可長期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。
    設(shè)備特點(diǎn)：?
    可保存多條工藝曲線每條曲線可設(shè)置多步
    工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能
    工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能
    自動(dòng)運(yùn)行中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能
    可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
    PID參數(shù)自整定功能
    工藝氣體的程序控制功能
    關(guān)鍵部件全部具有高可靠性
    具有良好的人機(jī)界面
    系統(tǒng)故障自診功能
    停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等
    具有歷史記錄功能
    具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
    技術(shù)指標(biāo)：
    可配置工藝管外徑2～8英寸
    可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺(tái)
    工作溫度范圍：400～1300℃
    恒溫區(qū)長度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
    單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：800～1300℃±0.5℃/24h
    大可控升溫速率：15℃/min
    大降溫速率：5℃/min?
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