ASML 859-8090-005-N參數(shù)詳解寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化作為知名的自動(dòng)化設(shè)備供應(yīng)商，其提供的ASML 859-8090-005-N在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域具有重要作用。本文將對(duì)該設(shè)備的嚴(yán)肅參數(shù)進(jìn)行詳細(xì)解析，以便用戶全面了解其性能特點(diǎn)與應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。ASML 859-8090-005-N是一款高精度光學(xué)組件，主要用于先進(jìn)的光刻機(jī)系統(tǒng)。該組件具備以下核心參數(shù)：1. 光學(xué)性能參數(shù)波長(zhǎng)范圍：該組件支持193nm至365nm的光譜范圍，確保了在多種光刻工藝中的適用性。分辨率：其光學(xué)分辨率高達(dá)45nm，能夠滿足當(dāng)前的芯片制造需求，保障芯片圖案的精確轉(zhuǎn)移。透過(guò)率：在特定波長(zhǎng)下，透過(guò)率超過(guò)95%，保證了光能量的高效利用，從而提高生產(chǎn)效率。2. 機(jī)械參數(shù)尺寸：組件尺寸為320mm x 240mm x 50mm，緊湊的設(shè)計(jì)使其能夠適應(yīng)復(fù)雜的光刻機(jī)內(nèi)部結(jié)構(gòu)。重量：約5.2kg，輕巧的重量有助于減少設(shè)備整體的負(fù)荷，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。安裝接口：采用標(biāo)準(zhǔn)化接口設(shè)計(jì)，兼容主流光刻設(shè)備，便于安裝和維護(hù)。3. 環(huán)境適應(yīng)性參數(shù)工作溫度：組件在15°C至35°C的溫度范圍內(nèi)能穩(wěn)定運(yùn)行，適應(yīng)潔凈室的環(huán)境要求。濕度要求：相對(duì)濕度控制在30%至70%之間，以防止光學(xué)元件表面結(jié)露，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行?？拐鹦阅埽壕邆漭^強(qiáng)的抗震性能，可承受1.0G的加速度，保障在復(fù)雜生產(chǎn)環(huán)境中的可靠性。4. 電氣參數(shù)供電電壓：24V直流供電，低功耗設(shè)計(jì)，有助于節(jié)約能源，減少運(yùn)營(yíng)成本。信號(hào)接口：支持高速數(shù)據(jù)傳輸接口，如GigE Vision或Camera Link，確保與控制系統(tǒng)的高效通信。功耗：最大功耗為35W，節(jié)能環(huán)保，符合現(xiàn)代工業(yè)的綠色發(fā)展理念。5. 可靠性與壽命平均無(wú)故障時(shí)間(MTBF)：超過(guò)50000小時(shí)，高可靠性減少了設(shè)備維護(hù)的頻率，提高了生產(chǎn)線的運(yùn)行效率。使用壽命：在正常使用條件下，組件使用壽命可達(dá)10年，為用戶提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的性能保障。綜上所述，寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化供應(yīng)的ASML 859-8090-005-N以其卓越的光學(xué)性能、穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)、良好的環(huán)境適應(yīng)性和高可靠性，成為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域不可或缺的關(guān)鍵組件。通過(guò)深入了解其嚴(yán)肅參數(shù)，用戶可以更好地利用該組件，提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
ASML 859-8090-005-N
