ASML 圓盤 4022.690.2299.2參數(shù)詳解ASML 作為全球領(lǐng)先的光刻設(shè)備供應(yīng)商，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。本文將詳細(xì)介紹 ASML 圓盤 4022.690.2299.2 的關(guān)鍵參數(shù)，幫助讀者全面了解這一重要組件?；拘畔⑿吞枺?022.690.2299.2制造商：ASML產(chǎn)品類別：光刻設(shè)備配件用途：主要用于 ASML 的光刻機(jī)中，確保設(shè)備的高精度運(yùn)行主要參數(shù)尺寸
- 直徑：約 300 mm
- 厚度：約 20 mm
- 重量：約 5 kg材料
- 圓盤主體：高純度石英玻璃
- 涂層材料：特殊抗反射涂層光學(xué)性能
- 透射率：大于 95% 在 193 nm 光源下
- 反射率：小于 1% 在 193 nm 光源下
- 表面平整度：優(yōu)于 λ/10 (λ = 193 nm)機(jī)械性能
- 硬度：莫氏硬度 7
- 熱膨脹系數(shù)：極低，確保溫度變化下的穩(wěn)定性
- 耐化學(xué)腐蝕：對常見酸堿具有高抵抗力電氣性能
- 靜電防護(hù)：內(nèi)置靜電消除裝置，防止靜電損傷
- 導(dǎo)電性：絕緣體，確保電氣安全工作環(huán)境溫度范圍：20°C ± 0.1°C濕度范圍：40% ± 5% RH潔凈度：ISO Class 1 潔凈室環(huán)境典型應(yīng)用芯片制造：用于晶圓的曝光工藝，確保芯片的高精度制造科研：在先進(jìn)材料研究和納米技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮重要作用維護(hù)與保養(yǎng)清潔：使用專用清潔液和潔凈室無塵布進(jìn)行清潔存儲：存放在溫度、濕度受控的潔凈環(huán)境中定期檢查：定期檢測圓盤的光學(xué)性能和表面狀態(tài)，確保其處于工作狀態(tài)結(jié)語ASML 圓盤 4022.690.2299.2 憑借其卓越的光學(xué)性能和穩(wěn)定的機(jī)械特性，成為半導(dǎo)體制造中不可或缺的關(guān)鍵組件。深入理解其參數(shù)對于優(yōu)化設(shè)備性能、提升制造效率具有重要意義。希望以上文章內(nèi)容能夠幫助你達(dá)到目的，下面是一些關(guān)于搜索引擎收錄的額外建議：提高搜索引擎收錄幾率的建議關(guān)鍵詞優(yōu)化：
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ASML 圓盤 4022.690.2299.2
