ASML 電源接口 4022.472.62893
技術(shù)規(guī)格詳解
型號與描述
●
型號：4022.472.62893
●
描述：ASML專用高可靠性電源接口模塊，適用于極紫外光刻（EUV）設(shè)備及半導(dǎo)體晶圓處理系統(tǒng)，支持精準電源分配與實時監(jiān)控功能。
電氣參數(shù)
●
額定電壓：DC 48V（±5%）
●
最大電流：200A（持續(xù)）/250A（峰值）
●
接觸電阻：≤0.5mΩ
●
絕緣電阻：≥500MΩ（500VDC）
●
防護等級：IP65（防塵防水）
●
浪涌保護：IEC 61000-4-5 4kV（線-線）/6kV（線-地）
機械特性
●
接口類型：高密度盲插連接器（32針）
●
尺寸：120mm（L）×80mm（W）×35mm（H）
●
材質(zhì)：外殼-鋁合金鍍鎳，觸點-鈹銅合金鍍金
●
安裝方式：4點螺紋固定（兼容DIN導(dǎo)軌）
●
插拔壽命：≥10,000次
環(huán)境參數(shù)
●
工作溫度：-20℃至+70℃
●
存儲溫度：-40℃至+85℃
●
濕度范圍：5%RH至95%RH（非冷凝）
●
抗震等級：IEC 60068-2-6（10g/11ms半正弦波）
監(jiān)控功能
●
實時監(jiān)測：電流/電壓/溫度三合一傳感器
●
通信協(xié)議：Modbus RTU（RS-485接口）
●
報警閾值：可自定義（默認過流200A/過溫85℃）
●
數(shù)據(jù)刷新率：100ms
安全認證
●
CE認證：LVD/EMC指令
●
UL認證：UL 60950-1
●
RoHS合規(guī)：2011/65/EU
應(yīng)用場景
●
極紫外（EUV）光刻機電源分配
●
半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備
●
離子注入機電源系統(tǒng)
●
高功率激光器電源接口
訂購信息
●
包裝規(guī)格：防靜電袋+硬質(zhì)EPE泡沫
●
最小起訂量：10個
●
交貨周期：4-6周（標準庫存）
●
質(zhì)保期限：36個月（非人為損壞）
注意事項
●
安裝時請確保電源完全斷電
●
定期使用接觸電阻測試儀維護
●
避免在強電磁干擾環(huán)境下使用
ASML 電源接口 4022.472.62893
