X1硬件描述
1 SCR控制信號電纜屏蔽端 (內(nèi)部與機殼連接)。
2 AI1模擬輸入 1， 可編程，默認2 =頻率給定。分辨率 0.1%, 精度 ±1%。
J1:AI1 OFF: 0…10 V (Ri =312 kΩ)
J1:AI1 ON: 0…20 mA (Ri =100 Ω)
3 AGND模擬輸入電路公共端 (內(nèi)部通過 1MΩ電阻與機殼連接 )。
4 +10 V用于模擬輸入電位器的給定電壓輸出， 10 V±2%，最大 10 mA(1kΩ < R < 10kΩ)。
5 AI2模擬輸入 1,可編程，默認2 =不使用。分辨率 0.1%, 精度 ±1%。
J1:AI2 OFF: 0…10 V (Ri =312 kΩ)
J1:AI2 ON: 0…20 mA (Ri =100 Ω)
6 AGND模擬輸入電路公共端 (內(nèi)部通過 1MΩ電阻與機殼連接 )。
7 AO1模擬輸出 1,可編程，默認2 =頻率。 0…20 mA (負載 < 500 Ω)
8 AO2模擬輸出 2, 可編程，默認2 =頻率。 0…20 mA (負載 < 500 Ω)
9 AGND模擬輸入電路公共端 (內(nèi)部通過 1MΩ電阻與機殼連接 )。
10 +24 V輔助電壓輸出 24 VDC / 250 mA (以 GND為參考 )。有短路保護。
11 GND輔助電壓輸出公共端 (內(nèi)部浮地連接 ) 。
12 DCOM數(shù)字輸入公共端1。為了激活一個數(shù)字輸入，輸入和 DCOM之間必須 ≥+10 V
(或 ≤-10 V) 。24 V可以由ACS510的 (X1-10)提供或由一個12…24 V 的雙極性外部
電源提供。
13 DI1數(shù)字輸入 1，可編程。默認 2 =起 /停。
14 DI2數(shù)字輸入 2，可編程。默認 2 =正向 /反向。
15 DI3數(shù)字輸入 3，可編程。默認 2 =恒速選擇。
16 DI4數(shù)字輸入 4，可編程。默認 2 =恒速選擇。
17 DI5數(shù)字輸入 5，可編程。默認 2 =斜坡選擇。
18 DI6數(shù)字輸入 6，可編程。默認 2 =未使用。
19 RO1C繼電輸出 1，可編程。默認 2 =準備好
最大 : 250 VAC / 30 VDC, 2 A
最小 : 500 mW (12 V, 10 mA)
20 RO1A
21 RO1B
22 RO2C繼電輸出 2,可編程。默認2 =運行
最大 : 250 VAC / 30 VDC, 2 A
最小 : 500 mW (12 V, 10 mA)
23 RO2A
24 RO2B
25 RO3C繼電輸出 3, 可編程。默認2 =故障 (反）
最大 : 250 VAC / 30 VDC, 2 A
最小 : 500 mW (12 V, 10 mA)
26 RO3A
27 RO3B
模擬
I/O
ON
ON
ON
ON
數(shù)字輸入
繼電器輸出
注1 ：數(shù)字輸入阻抗 1.5 kΩ。數(shù)字輸入最大電壓 30 V。
注2 ：默認值根據(jù)選用的宏的不同而不同。這里給出的是默認宏的默認值。參看 "應(yīng)用宏 " ，第 41頁。
注意! 端子 3、6 和 9 都是等電位的。
安裝
ACS510 用戶手冊
注意 ! 出于安全原因當 ACS510斷電時，故障繼電器指示 “fault”（故障）信號。
數(shù)字輸入端子可采用 PNP或 NPN的配置方式接線。
PNP 接線 (發(fā)送型 ) NPN 接線 (吸納型 )
10 +24 V
11 GND
12 DCOM13 DI1
14 DI2
15 DI3
16 DI4
17 DI5
18 DI6
X1
X1
接線安裝
檢查電機和電機電纜絕緣
10 +24 V
11 GND
12 DCOM
13 DI1
14 DI2
15 DI3
16 DI4
17 DI5
18 DI6
警告！在連接進線電纜之前應(yīng)檢查電機和電機電纜絕緣。在做這個測試之前確認電機
電纜到變頻器之間的連接狀況。
1.完成電機電纜到電機的連接，但是斷開電纜到變頻器輸出端子 (U2, V2, W2)的連接。
2. 在變頻器側(cè)的電機電纜端測量每一根電纜與保護地 (PE)之間
的絕緣電阻。使用直流一千伏（ 1kV DC）電壓測量并確認絕
緣電阻明顯大于一兆歐（ 1 Mohm）。
PE
M
ohm
安裝
KLA-Tencor GSI Lumonics X-Y 貝加萊 3CP260.60.1 Scanner PCB CCA-10069 Pair
KLA-Tencor MO-76A Pulizzi Power Dist. Unit PC2425 Used
KLA-Tencor High Voltage Control Module 52-1081
KLA-Tencor AIT 2 GPIO Board 386065 working
KLA-Tencor AIT 2 MMD Analog Board 565040 working
KLA Tencor Ultrapointe Laser Imaging System LIS-1010
KLA/Tencor/Toky?o Electron VIP Card Board TEL
KLA Tencor Camera Timer 710-714647-00
GSI Lumonics KLA-Tencor Quantox Board CCA-10069
KLA-Tencor Dalsa CCD Camera 貝加萊 3CP260.60.1 750-061019-00 untested
KLA-Tencor AIT 2 U500 Control Board 690D1470 working
KLA-Tencor Quantox High Voltage Control Module 52-1081
KLA-Tencor AIT 2 Upper Opto-Mech NNC 0024755-001
KLA TENCOR DIGITAL DEFLECTION GENERATOR 701-603180-003
KLA-Tencor CRS2000 Olympus Microscope Turret BH3-5NRE-M
KLA-Tencor M2/M3 Servo Controller PCB 0038746-001 Used
KLA-Tencor X-Y Scanner PWA PCB E11-13209-7 Rev D
KLA-Tencor XP Objective Lens 0110155-000 Untested
KLA-Tencor HPR-340 U-Joint Board 454788 working
KLA-Tencor 486i Controller 0020839 Rev.AA working
KLA-Tencor Quantox Head 貝加萊 3CP260.60.1 Control Module 64020 working
KLA-Tencor Spring Clamp Laser Servo Detect. 0124592-000
KLA-Tencor Marway 230V Power Strip 0046059-000 New
KLA-Tencor SM300 Monochromator 58-0834
KLA-Tencor AIT Upper Opto-Mech 0024755-000 working
KLA-Tencor Computer Interface Board 307793 working
KLA-Tencor F5X Disp Analyzer 0105208-000 Untested
KLA-Tencor AIT 2 MMD Analog Board 565040 working
