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用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化退火、燒結(jié)等工藝設(shè)備，也可做為磁性材料的燒結(jié)工藝，還可適用于機(jī)械行業(yè)的淬火、冶金業(yè)稀土的燒結(jié)工藝

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