產(chǎn)品名稱:BDISCOM電源BDS SP 3
產(chǎn)品型號(hào):BDS SP 3
產(chǎn)品介紹:
BDISCOM是一家制造公司,生產(chǎn)直流低壓和高壓/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及臺(tái)式射頻等離子體反應(yīng)器系列,還提供發(fā)電機(jī)、電源和過(guò)程控制系統(tǒng)。多年來(lái)積累了豐富的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn),通過(guò)不斷地研究創(chuàng)新,提高產(chǎn)品質(zhì)量及性能,滿足客戶需求。
BDS SP 3是用于直流濺射工藝的新型電源系列。
性能特點(diǎn):
?所有單元均配備用戶友好的主動(dòng)式觸摸屏顯示器
?點(diǎn)火電壓高達(dá) 1,1 kV
?電弧檢測(cè) DV/DT 關(guān)閉時(shí)間 < 1mSec
?冷卻空氣
參數(shù):
?電源要求:400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
?max功率輸出:3、6 和 12kw FS
?max電壓輸出:1000 Volt FS
?max電流輸出:6、12 和 25 安培
?點(diǎn)火:1,1 KVolt
?電弧探測(cè)器:< 200 nSec 檢測(cè),< 1 mSec DV/DT 關(guān)閉時(shí)間
?效率:> 90 %
?顯示:觸摸面板 240x128 像素
?調(diào)節(jié)模式:功率/電壓/電流(可選)
?冷卻:空氣(強(qiáng)制)
?接口:RS 232 - Profibus - A/D(Profibus 選項(xiàng))
?工作溫度:5-40°C
?尺寸:19” 機(jī)架 - 4HU