雙Z軸測(cè)量技術(shù)，可靈活選配多種傳感器及轉(zhuǎn)臺(tái)配置，滿足多任務(wù)測(cè)量需求。
OPTIV M 3.2.2
OPTIV M 4.4.3
OPTIV M 6.6.3
OPTIV M 6.6.4
OPTIV M 4.4.3 Dual Z
OPTIV M 6.6.3 Dual Z
OPTIV M 6.6.4 Dual Z
OPTIV PERFORMANCE 4.4.2
OPTIV PERFORMANCE 6.6.2
專利雙Z軸復(fù)合式測(cè)量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞微米范圍內(nèi)的測(cè)量精度，開(kāi)創(chuàng)影像精密測(cè)量的技術(shù)新高。光學(xué)測(cè)量和接觸測(cè)量結(jié)合在一個(gè)系統(tǒng)中，使得復(fù)合式影像測(cè)量?jī)x極大限度地提高了測(cè)量效率和應(yīng)用的靈活性。PERFORMANCE / M 還配備雙Z軸技術(shù)，進(jìn)一步縮短了檢測(cè)周期，降低檢測(cè)成本，提高測(cè)量結(jié)果可靠性。
Optiv PERFORMANCE / M 系列影像測(cè)量?jī)x被廣泛的應(yīng)用于: 3C電子、半導(dǎo)體、精密機(jī)械、醫(yī)療、航空航天、計(jì)量院所等行業(yè)。
1) CCD影像:
對(duì)小、薄、軟、精密的被測(cè)特征進(jìn)行非接觸測(cè)量避免形變。
2) CWS白光:
對(duì)柔軟、反射或低對(duì)比度的表面進(jìn)行亞微米精度級(jí)別的測(cè)量。
3) 接觸式掃描:
對(duì)影像無(wú)法完成無(wú)法識(shí)別的三維特征進(jìn)行單點(diǎn)觸發(fā)和連續(xù)掃描測(cè)量。
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