宜興恩越研磨廢水的回用處理工藝,其特征在于,包括如下步驟：
將研磨廢水排入收集槽;
收集槽內(nèi)的液體經(jīng)調(diào)節(jié)池進(jìn)入pH調(diào)整池進(jìn)行處理;
pH調(diào)整池處理后的液體進(jìn)入混合反應(yīng)池進(jìn)行處理;
混合反應(yīng)池處理后的液體進(jìn)入絮凝反應(yīng)池進(jìn)行處理;
絮凝反應(yīng)池處理后的液體進(jìn)入沉淀池進(jìn)行處理;
沉淀池處理后的液體經(jīng)UF給水箱進(jìn)入砂濾器進(jìn)行處理;
砂濾器處理后的液體進(jìn)入U(xiǎn)F裝置進(jìn)行處理;
UF裝置處理后的液體進(jìn)入處理水箱待回用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶元研磨廢水的回用處理工藝,其特征在于,pH調(diào)整池,混合反應(yīng)池,絮凝反應(yīng)池,沉淀池內(nèi)的污泥排入污泥池;
污泥池內(nèi)的含水污泥送入板框壓濾機(jī)進(jìn)行壓濾,壓濾液進(jìn)入調(diào)節(jié)池,壓濾出的干污泥外運(yùn)處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶元研磨廢水的回用處理工藝,其特征在于,UF裝置通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行反沖洗。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶元研磨廢水的回用處理工藝,其特征在于,調(diào)節(jié)池配有應(yīng)急池。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶元研磨廢水的回用處理工藝,其特征在于,pH調(diào)整池中投入了NaOH。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶元研磨廢水的回用處理工藝,其特征在于,混合反應(yīng)池中投入了PAC。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶元研磨廢水的回用處理工藝,其特征在于,絮凝反應(yīng)池中投入了PAM。
說(shuō)明書
恩越研磨廢水的回用處理工藝
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及凱雄研磨廢水的回用處理工藝。
背景技術(shù)
在加大節(jié)能減排力度的背景下,國(guó)內(nèi)三廢行業(yè)繼續(xù)取得了較好的發(fā)展業(yè)績(jī)。我國(guó)“十二五”規(guī)劃綱要提出,強(qiáng)化環(huán)境治理,到2015年,實(shí)現(xiàn)城鎮(zhèn)生活垃圾無(wú)害化處理率100%,城市生活污水集中處理率90%,重點(diǎn)工業(yè)企業(yè)廢水,廢氣排放達(dá)標(biāo)率100%,工業(yè)固體廢物處置利用率100%。
工業(yè)生產(chǎn)中,很多半導(dǎo)體企業(yè)均會(huì)在生產(chǎn)工藝涉及到晶元研磨工藝,該工藝一般采用處理成本較高的高純水作為沖洗水,而產(chǎn)生的硅晶粉末顆粒細(xì)小,使用傳統(tǒng)工藝一般是采用簡(jiǎn)單的絮凝去除,去除效率較低,因此不可避免地產(chǎn)生含硅晶粉末廢水,這些廢水無(wú)法回收利用,僅能排放。隨著國(guó)內(nèi)環(huán)保要求的不斷提高,如何減少?gòu)U水排放,充分利用水資源,特別是成本較高的高純水資源達(dá)到經(jīng)濟(jì)效益已成為環(huán)保行業(yè)亟待解決的技術(shù)難題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種晶元研磨廢水的回用處理工藝,其可對(duì)晶元研磨廢水進(jìn)行有效處理,處理后水質(zhì)滿足生產(chǎn)回用需求。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種晶元研磨廢水的回用處理工藝,包括如下步驟：
將晶元研磨廢水排入收集槽;
收集槽內(nèi)的液體經(jīng)調(diào)節(jié)池進(jìn)入pH調(diào)整池進(jìn)行處理;
pH調(diào)整池處理后的液體進(jìn)入混合反應(yīng)池進(jìn)行處理;
混合反應(yīng)池處理后的液體進(jìn)入絮凝反應(yīng)池進(jìn)行處理;
絮凝反應(yīng)池處理后的液體進(jìn)入沉淀池進(jìn)行處理;
沉淀池處理后的液體經(jīng)UF給水箱進(jìn)入砂濾器進(jìn)行處理;
砂濾器處理后的液體進(jìn)入U(xiǎn)F裝置進(jìn)行處理;
UF裝置處理后的液體進(jìn)入處理水箱待回用。
優(yōu)選的,pH調(diào)整池,混合反應(yīng)池,絮凝反應(yīng)池,沉淀池內(nèi)的污泥排入污泥池;
污泥池內(nèi)的含水污泥送入板框壓濾機(jī)進(jìn)行壓濾,壓濾液進(jìn)入調(diào)節(jié)池,壓濾出的干污泥外運(yùn)處理。
優(yōu)選的,UF裝置通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行反沖洗。
優(yōu)選的,調(diào)節(jié)池配有應(yīng)急池。
優(yōu)選的,pH調(diào)整池中投入了NaOH。
優(yōu)選的,混合反應(yīng)池中投入了PAC。
優(yōu)選的,絮凝反應(yīng)池中投入了PAM。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：提供一種晶元研磨廢水的回用處理工藝,其可對(duì)晶元研磨廢水進(jìn)行有效處理,處理后水質(zhì)滿足生產(chǎn)回用需求,可實(shí)現(xiàn)零排放,全回收。
本發(fā)明可提高晶元研磨中水的晶元截留效率,減少?gòu)U水排放量,減少污染物進(jìn)入后續(xù)水體,有利于改善后續(xù)水體的水質(zhì)狀況;處理后的中水可以回用至生產(chǎn)系統(tǒng),充分利用水資源,降低生產(chǎn)成本,取得更高效益。
