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    低溫等離子廢氣處理中的高能電子可使電負(fù)性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負(fù)離子，它具有許多良好的效應(yīng)，對人體及其他生物的生命活動有著十分重要的影響，被人們譽(yù)為“空氣維生素”、“長壽素”。
    低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應(yīng)。發(fā)生的靜電作用在各種細(xì)菌、病毒等微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于細(xì)胞膜表面張力，使細(xì)胞膜遭到破壞，導(dǎo)致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術(shù)具有優(yōu)秀的消毒殺菌之功效。

    在低溫等離子廢氣治理過程中，當(dāng)有機(jī)氣體進(jìn)入冷離子體反應(yīng)室時(shí)，氣體被均勻分配到等離子反應(yīng)室(PRC)。反應(yīng)室分成149根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反應(yīng)室獨(dú)立隔開。通過高壓線對反應(yīng)室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產(chǎn)生放電現(xiàn)象。
    一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產(chǎn)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說的激進(jìn)和負(fù)荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
    同時(shí)注入環(huán)境或者二級氣體來優(yōu)化反應(yīng)室的濕度和溫度登記，與此同時(shí)加入離子來改善反應(yīng)室內(nèi)的反應(yīng)。這種冷離子體處理方法使有機(jī)氣體在低溫下進(jìn)行“氧化”。