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產品簡介
高分辨率、高精度手動紫外光刻機URE-2000\/25LURE-2000\/25
高分辨率、高精度手動紫外光刻機URE-2000\/25LURE-2000\/25
產品價格：￥200000.00
上架日期：2023-11-03 22:43:08
產地：北京北京
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詳細說明
    產品參數
    高分辨率、高精度手動紫外光刻機URE-2000/25L URE-2000/25 品牌鑫有研







    高精度紫外光刻機
    型號：URE-2000/25 URE-2000/25L
    主要技術指標：
    曝光面積：100mm×100mm
    分辨力：1.5μm（膠厚1.5μm的正膠）
    對準精度：±0.8μm
    最大膠厚：300μm（SU8膠）
    掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
    樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
    照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
    汞燈功率：200W（直流）
    掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
    技術特點：
    球氣浮實現高精度調平；超精密手輪對準調節(jié)，單片機控制,觸摸開關操作；整機精度高、性能可靠

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