產品參數 | |||
---|---|---|---|
品牌 | 米歇爾MICHELL | ||
是否支持加工定制 | 否 | ||
可售賣地 | 全國 |
單面自動紫外光刻機
型號:URE-2000/35
(國內主力型銷售推薦產品)
簡單介紹:光刻機:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現高精度自動調平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制;采用創(chuàng)新技術積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明;可連續(xù)設定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
一.技術特征——非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動型)和高校教學科研(可靠性好,演示方便)采用創(chuàng)新技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現均勻照明;
1、采用三爪和球氣浮同時找平,無論大片、小片調平精度均高;
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;
3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙,間隙分離可達500μm;
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,并提供USB輸出;既滿足高精度對準,又可用于檢測曝光結果,且曝光結果和方便存儲;
5、電機機構、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復性好;