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|
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|
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|
真空泵型號 |
GLD-N051 |
GLD-N136 |
GLD-N201 |
GLD-N280 |
PVD-N180 |
PVD-N180-1 |
PVD-N360 |
|
抽氣速度（L/min） |
60 |
162 |
240 |
336 |
150 |
150 |
310 |
|
極限真空（Pa） |
＜6.7×10-2 |
||||||
|
電機功率（KW） |
0.2 |
0.4 |
0.5 |
0.75 |
0.4 |
0.4 |
0.75 |
?
油旋片式真空泵----GLD/PVD/VDN/VSN系列
|
真空泵型號 |
PVD-N360-1 |
VDN301 |
VDN401 |
VDN601 |
VDN901 |
VSN1501 |
VSN2401 |
|
抽氣速度（L/min） |
310 |
500(30m3/h) |
670(30m3/h) |
1000(60m3/h) |
1500(90m3/h) |
2500(150m3/h) |
4000(240m3/h) |
|
極限真空（mbar） |
＜6.7×10-2 |
＜6.7×10-1 |
|||||
|
電機功率（KW） |
0.75 |
1.1 |
1.5 |
2.2 |
3.7 |
? |
? |
?
?
