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派克液體流量控制器parker快速響應(yīng)液體流量控制器
<秒1響應(yīng)時間>讀數(shù)精度的1%壓電控制閥.金屬密封結(jié)構(gòu)
?緊湊型尺寸1/8“面密封或壓縮配件波特D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器的地址
半導(dǎo)體制造中液體前體的快速精確控制的必要性過程，以及生物技術(shù)、制藥中的各種應(yīng)用，
化工、石化和表面處理工業(yè)。閉環(huán)數(shù)字控制電路與積分比例壓電驅(qū)動相結(jié)合
控制閥，提供不到1秒的響應(yīng)時間和穩(wěn)定的控制在低。潔凈室總成和所有金屬密封結(jié)構(gòu)確保高純度和泄漏完整性。一個獨特的層流旁路和傳感器組件提供準確的
流體溫度僅上升5°c的測量。緊湊的封裝尺寸該D2000i系列簡化系統(tǒng)集成。一個D2000i系列液體質(zhì)量流量計只適用于需要流量監(jiān)控的應(yīng)用程序。
規(guī)格
響應(yīng)時間：＜1秒至5%以內(nèi)
速率（最多6個儲存閥跳變電壓）
準確度和線性度：讀數(shù)的1%
重復(fù)性：在任何情況下，速率為0.2%。
在恒定的溫度
操作溫度范圍
可調(diào)范圍（控制范圍）：20:1
（5% - 100%滿刻度）（精度和控制）環(huán)境溫度和工作溫度
范圍：- 10至40°C（+ 14至104°F）
最大允許工作壓力：125 psig
溫度系數(shù)：＜0.1%°C
設(shè)定輸入流量信號輸出：0-5 VDC（2K歐姆最低負載電阻）
流量輸出信號）
電源要求：（電流消耗小于200 MADC）：+ 15（10%）VDC
泄漏完整性：1×10- 9ATM。CC / sec.he
熱身時間：20分鐘
建筑材料—
（濕表面）：車身- 316L不銹鋼
傳感器總成- 316L不銹鋼
閥門組件- 316L不銹鋼
O型環(huán)- 316L不銹鋼
