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代理德國(guó)蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機(jī)、涂膠機(jī)與顯影機(jī)、光刻機(jī)、貼片機(jī)、俺膜機(jī)

詳詢請(qǐng)致電：吳工 132，4667.5433

ACS200 Gen3 TE涂膠顯影機(jī)：最大化產(chǎn)能的全自動(dòng)平臺(tái)
SUSS ACS200 Gen3 TE平臺(tái)將ACS200 Gen3這款非常成功且市場(chǎng)熟知的產(chǎn)品提升到了一個(gè)新的高度。不僅在產(chǎn)能上有了顯巨提高，在操作和維護(hù)上也更加舒適。SUSS ACS200 Gen3 TE能夠提供非常靈活的模塊和技術(shù)配置，以滿足先進(jìn)封裝、MEMS、LED和其他市場(chǎng)的要求，并為研發(fā)和HVM提供服務(wù)。
介紹：
基礎(chǔ)框架經(jīng)過(guò)重新設(shè)計(jì)，可配置多達(dá)6個(gè)旋轉(zhuǎn)工藝模塊，并可在這些模塊上方配置冷熱板組。此外，動(dòng)態(tài)對(duì)中（IMOC）功能的引入，即晶圓傳送時(shí)的“動(dòng)態(tài)”定心，進(jìn)一步提高了整體產(chǎn)能。為了滿足最新的ESD標(biāo)準(zhǔn)，并為操作員和技術(shù)人員提供更高的舒適度，該平臺(tái)已經(jīng)進(jìn)行更新。第二屏幕可根據(jù)個(gè)人需要進(jìn)行配置，可以用來(lái)顯示攝像頭以及設(shè)備/模塊的狀態(tài)，并且可以處理測(cè)量數(shù)據(jù)。外圍配套設(shè)備也得到了顯著改進(jìn)，特別是新推出的Flexi Media Cabinet，整潔、標(biāo)準(zhǔn)化程度高。由于采用PiXDRO技術(shù)的SUSS JETx噴墨模塊已完全集成到該平臺(tái)中，使得該平臺(tái)支持下一代材料沉積技術(shù)，且仍具有添加其他模塊的能力。同時(shí)，已經(jīng)引入了標(biāo)準(zhǔn)制造接口（SMIF）加載端口。此外，流量控制器系統(tǒng)為有機(jī)溶劑和顯影工藝應(yīng)用提供了非常出色的噴液精度。
ACS200 Gen3 TE平臺(tái)將繼續(xù)提供的敞開(kāi)式腔體涂布和SUSS專有的GYRSET?閉蓋式涂布技術(shù)。廣為接受的腔體設(shè)計(jì)將保持不變，因此能夠?qū)崿F(xiàn)將工藝從之前的平臺(tái)到現(xiàn)在的輕松轉(zhuǎn)移。
亮點(diǎn)：
多達(dá)6個(gè)旋轉(zhuǎn)工藝模塊
采用動(dòng)態(tài)對(duì)中(IMOC)提高晶圓傳送效率
超高的配置靈活性
可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化系統(tǒng)的噴墨技術(shù)
操作舒適性高
標(biāo)準(zhǔn)制造接口(SMIF)負(fù)載端口
詳細(xì)情況 : 顯影工藝
浸置式顯影
噴霧顯影
在此工藝中，一定量的顯影劑被滴在曝光后的襯底上，并通過(guò)適度的旋轉(zhuǎn)分散開(kāi)。 顯影液因其表面張力在晶圓上形成凸?fàn)畹囊好妫ā癙uddle”）。 當(dāng)顯影時(shí)間結(jié)束后，通過(guò)提高旋轉(zhuǎn)速度甩干晶圓上的顯影液。 然后，用去離子水沖洗晶圓并同樣提高轉(zhuǎn)速甩干。 這種方法的優(yōu)點(diǎn)是，只需使用少量顯影液，就能提供優(yōu)異的顯影結(jié)果。浸置式顯影法不得用于顯影液達(dá)到飽和時(shí)，例如當(dāng)必須除去大量顯的光刻膠時(shí)或者凹凸圖形阻礙了更換顯影液時(shí)。 在這些情況下，需多步使用浸置式顯影或者使用噴涂式顯影 。

德國(guó)SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8
手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)
全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動(dòng)：MJB4
四、測(cè)量系統(tǒng)
全自動(dòng):DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動(dòng)貼片機(jī)
全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動(dòng)：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動(dòng)：DSC300 Gen3

韓國(guó)AUTOFLOW：
一、氣體流量計(jì)
AMF-4003、AMF-4008
AMF-5003、AMF-5006、AMF-5008、AMF-5012、AMF-5019
AMF-6012、AMF-6019
二、質(zhì)量流量計(jì)   AVA-420
三、超聲波流量計(jì)
AUDS系列：
AUDS-100P-1/AUDS-100P-2
AUDS-100H/AUDS-100M/AUDS-100Y
四、熱式質(zhì)量流量傳感器：VA 420
五、渦街流量計(jì)： AVT2000    AVT4000   AVT5000
六、渦輪流量計(jì):Vision 1000  Vision 2000

韓國(guó)SAMWOO
一、壓力測(cè)量
壓力變送器：APT-3100、APT-3200、7MF 4333、7MF 4633、7MF 4533、7MF 4433、7MF 4233、7MF 4033
2600T系列壓力變送器
264DS型差速器
264PS型壓力表
264VS絕對(duì)型
型號(hào)：264DS、264GS、264HS、264AS
壓力開(kāi)關(guān)：P990、P970、P961,P962,P963,P964,P965、P953、P940、P930、P920、P912,P913,P914、P910,P911
超高純度壓力表：PT840、P840-1、P840、P830、P820、P810
衛(wèi)生級(jí)壓力表：P757、P750
高溫壓力表：P740
隔膜密封型壓力表：  P730、P720、P710
指示差壓表：P651,P652,P653,P654,P655、P641,P642,P643,P644,P645
電接點(diǎn)差壓表：P621,622,623,624,625、P620,630
SF6氣體密度監(jiān)測(cè)儀：P590
鍍鉻鋅殼電接點(diǎn)壓力表：P542,P543
壓力指示開(kāi)關(guān)：P535、P536
鋼殼電接點(diǎn)壓力表：P531,532,533,534,537,539
電動(dòng)壓力表：P520、P510、P500
低壓表：P440、P430、P428、P429、P421、P410、P420、P359、P339
工業(yè)壓力表：P330
充液壓力表：P259、P258、P257、P253、P252、P229, P335、P222、P221、P253
接收儀：P228
重型使用壓力表：P163
通用壓力表：P140、P110
測(cè)試壓力表：P119
氟利昂氣體服務(wù)壓力表:P112
氨用壓力表:P111

【二】溫度測(cè)量
帶焊接連接的棒材熱套管：A630、A631、A632
帶法蘭連接的棒材熱電偶套管：A610、A611、A612
帶螺紋連接的棒材熱套管：A600、A601、A602
管式熱電偶套管：A500、A510
電阻式溫度檢測(cè)器：R221、R222
鎧裝熱電偶：R121,R122
滑石保護(hù)管熱電偶：R111/R112
溫度發(fā)射機(jī)：ATT-2200、ATT-2100
顯示器：7NG3132、7NG3120頭戴式、TTR200、
溫度變送器：TTH200、TTH300、TTF300、
溫度計(jì)：T751,T752,T753,T754
溫度開(kāi)關(guān)：T990、T953
防雨溫度開(kāi)關(guān)：T941,942
指示溫度開(kāi)關(guān)：T931,932
電接點(diǎn)遠(yuǎn)讀溫度計(jì)：T761,762,763,764
帶鋁殼和電觸點(diǎn)的直讀溫度計(jì)：T721,722,723,724
鋁殼電接點(diǎn)遠(yuǎn)讀溫度計(jì)：T711,712,713,714
電接點(diǎn)溫度計(jì)：T521,522,523,524,525
感應(yīng)式接觸式溫度計(jì)：T501,502,503,504,505
玻璃溫度計(jì)：T400
安全型直讀溫度計(jì)：T359、T259、T250
帶可調(diào)桿的直讀溫度計(jì)：T290
重型服務(wù)遠(yuǎn)程讀取溫度計(jì)：T263
無(wú)油遠(yuǎn)程讀數(shù)溫度計(jì)：T239、T230、T219
無(wú)油直讀溫度計(jì)：T229、T220
鋁殼直讀溫度計(jì)：T222
鋁殼遠(yuǎn)讀溫度計(jì)：T212、T210
密封外殼溫度計(jì)：T191
溫度計(jì)：T190、T120、T114、T112、T111、T110
溫度記錄儀：T930、T920
溫度變送器：MTM

【三】液位測(cè)量
液位開(kāi)關(guān)；MWBS-TR-01、MWBS-RC-01、
液位開(kāi)關(guān)電極類型：HE系列
液位開(kāi)關(guān)：HQ-6636系列
液位開(kāi)關(guān)槳葉式：HLV-300系列
振動(dòng)型液位開(kāi)關(guān)：HNV-970、HTM-230, HTM-430
液位開(kāi)關(guān)HR/F型：HCC-96RF-R
LEVEL SWITCH電容式：HPC-509N、HCC-75P系列
液位開(kāi)關(guān)磁浮式：HM-12S
液位開(kāi)關(guān)磁浮式：HR-30S
液位開(kāi)關(guān)浮子式：HM-90SE、HM-95系列
液位開(kāi)關(guān)置換器類型：HM-90
二色式量規(guī)：L500、L510
管狀壓力表：L400
磁性浮子式液位計(jì)：L300
透明式液位計(jì)：L200
照明器：L150、L250
加熱/之字形液位計(jì)：L130、L230
無(wú)霜型液位計(jì)：L120、L220
大室式液位計(jì)：L110、L210
反射式液位計(jì)：L100

韓國(guó)ULFA
ADT系列差壓儀表
AIT 差壓儀表
PATM差壓儀表
PMI 差壓變送器和開(kāi)關(guān)
USP 差壓變送器
PAT 差壓變送器
TML數(shù)字溫度計(jì)

韓國(guó)DAEKWANG
溫度傳感器：
TS0001、TS0002、TS0003、TS0004、TS0005、TS0006、TS0007、TS0008、TS0009、TS00010、TS00011、TS00012、TS00013、TS00014、TS00015、TS00016、TS00017、TS00018、TS00019、TS00020、TS00021、TS00022、TS00023、TS00024、TS00025、TS00026、TS00027、TS00028、TS00029、TS00030、TS00031、TS00032、RS0001、RS0002、RS0003、RS0004