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“經(jīng)常有人戴智能手環(huán)坐飛機(jī)國(guó)際旅行，在飛機(jī)上不可能有很大的運(yùn)動(dòng)量，但你一下飛機(jī)手環(huán)就顯示你走了數(shù)千步。這個(gè)與實(shí)際情況出入很大的計(jì)步結(jié)果是如何出來(lái)的？這就是由于傳感器精度問(wèn)題造成的。”對(duì)于MEMS傳感器的精度問(wèn)題，Neil給出了一個(gè)常見(jiàn)的計(jì)步嚴(yán)重偏差的例子，“這是加速度計(jì)的采樣頻率不夠，導(dǎo)致將飛機(jī)高頻振動(dòng)計(jì)算成規(guī)律的低頻運(yùn)動(dòng)，也可能是傳感器對(duì)高頻濾波處理不當(dāng)，導(dǎo)致傳感器不能實(shí)現(xiàn)對(duì)高頻信號(hào)干擾濾除”。
第三個(gè)重要的性能指標(biāo)是尺寸?！斑@個(gè)很容易理解了，比如說(shuō)頭盔上佩戴的和裝在護(hù)欄上的，這也是國(guó)內(nèi)的一個(gè)項(xiàng)目，裝在護(hù)欄上，如果車(chē)輛碰撞了都知道哪一塊出現(xiàn)碰撞，這都需要尺寸非常小，所以對(duì)尺寸上也是有很高的要求?！盢eil指出。事實(shí)上，MEMS近年來(lái)在很多創(chuàng)新應(yīng)用中，對(duì)產(chǎn)品尺寸都有非?？量痰囊螅缰閷毜壬莩奁返陌踩?、便攜導(dǎo)航功能需要的陀螺儀、磁力計(jì)MEMS，甚至我們的信用卡里面都有機(jī)會(huì)用到MEMS，這些都要求MEMS夠小、夠薄。
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