鈍化是提高多晶硅質(zhì)量的有效方法。一種方法是采用氫鈍化,鈍化硅體內(nèi)的懸掛鍵等缺陷。在晶體生長(zhǎng)中受應(yīng)力等影響造成缺陷越多的硅材料,氫鈍化的效果越好。氫鈍化可采用離子注入或等離子體處理。在多晶硅太陽(yáng)電池表面采用pECVD法鍍上一層氮化硅減反射膜,由于硅烷分解時(shí)產(chǎn)生氫離子,對(duì)多晶硅可產(chǎn)生氫鈍化的效果。
在高效太陽(yáng)電池上常采用表面氧鈍化的技術(shù)來提高太陽(yáng)電池的效率,近年來在光伏級(jí)的晶體硅材料上使用也有明顯的效果,尤其采用熱氧化法效果更明顯。使用PECVD法在更低的溫度下進(jìn)行表面氧化,近年來也被使用,具有一定的效果。
多晶硅太陽(yáng)電池的表面由于存在多種晶向,不如(100)晶向的單晶硅那樣能經(jīng)由腐蝕得到理想的絨面結(jié)、構(gòu),因而對(duì)其表面進(jìn)行各種處理以達(dá)減反射的作用也為近期研究目標(biāo),其中采用多刀砂輪進(jìn)行表面刻槽,對(duì)10cmX10cm面積硅片的工序時(shí)間可降到30秒,具有了一定的實(shí)用潛力。
多孔硅作為多晶硅太陽(yáng)電池的減反射膜具有實(shí)用意義,其減反射的作用已能與雙重減反射膜相比,所得多晶硅電池的效率也能達(dá)到13。4%。我國(guó)北京有色金屬研究總院及中科院感光化學(xué)研究所共同研制的在絲網(wǎng)印刷的多晶硅太陽(yáng)電池上使用多孔硅也已達(dá)到接近實(shí)用的結(jié)果。
產(chǎn)品關(guān)鍵詞:太陽(yáng)能熱水器 太陽(yáng)能 太陽(yáng)能燈 太陽(yáng)能光伏 太陽(yáng)能發(fā)電 太陽(yáng)能電池