Physik Instrumente （PI）帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
PI(Physik Instrumente)在所有重要市場(chǎng)中都擁有自己的銷(xiāo)售和服務(wù)辦事處。此外，公司還在三大洲設(shè)置了納米計(jì)量測(cè)試裝置。PI Shanghai和PI USA擁有額外的發(fā)展和制造資源，可實(shí)現(xiàn)對(duì)定制設(shè)計(jì)規(guī)格的快速當(dāng)?shù)胤磻?yīng)。
Physik Instrumente （PI）帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
Physik Instrumente （PI）PIglide系列平臺(tái)配備伺服驅(qū)動(dòng)器線(xiàn)性電機(jī)，電機(jī)配置帶預(yù)載的空氣軸承和集成線(xiàn)性編碼器。這類(lèi)非接觸式零件的組合形成了一個(gè)無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可提供的性能、質(zhì)量和使用壽命。
高推動(dòng)力線(xiàn)性電機(jī)可以在幾毫秒內(nèi)將平臺(tái)驅(qū)動(dòng)速度，高承載能力軸承可支承重達(dá)60 公斤的有效載荷。該型號(hào)中的側(cè)面相對(duì)、主動(dòng)預(yù)載空氣軸承設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)任意方向上的安裝。
應(yīng)用領(lǐng)域
Physik Instrumente （PI）PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描。
由于運(yùn)動(dòng)無(wú)摩擦，不會(huì)形成顆粒，PIglide平臺(tái)非常適用于無(wú)塵室應(yīng)用
花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)
A-123.050A1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無(wú) 鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.050B1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.100A1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.100B1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.150A1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，150毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.150B1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，150毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.200A1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.200B1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.350A1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，350毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.350B1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，350毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.500A1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，500毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.500B1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，500毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI） A-123.750A1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，750毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI） A-123.750B1 PIglideAT3線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，750毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
Physik Instrumente （PI） A-63x
?200毫米或300毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑
?薄型，60毫米
?偏心和平整度<100 nm
?靜止時(shí)可以通過(guò)磁性預(yù)載自鎖
Physik Instrumente （PI 產(chǎn)品總覽
Physik Instrumente （PI PIglide RL系列的直接驅(qū)動(dòng)式薄型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)采用薄型設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)的精度。
可以組合各種選項(xiàng)來(lái)創(chuàng)建理想的解決方案，以實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)索引或恒速掃描。
RL位移臺(tái)提供的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。
編碼器（可選）
值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。 這意味著在接通過(guò)程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。
?由花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)
光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，晶片檢查，晶片對(duì)準(zhǔn)，測(cè)量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。
由于無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成任何顆粒，這使PIglide工作臺(tái)非常適合無(wú)塵室應(yīng)用。
Physik Instrumente （PI A-635.A100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，200 mm運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，低高度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，31488線(xiàn)/轉(zhuǎn)，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)
Physik Instrumente （PI A-635.B100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，200 mm運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，低高度，帶BiSS-C信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)
Physik Instrumente （PI A-637.A100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑300 mm，低高度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，47200線(xiàn)/轉(zhuǎn)，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)
Physik Instrumente （PI A-637.B100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑300 mm，低高度，帶BiSS-C信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)
Physik Instrumente （PIA-62x
§ 無(wú)塵室兼容
§ 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑為50毫米300毫米
§ 負(fù)載容量達(dá)4170牛
§ 偏心度和平面度< 200納米
§ 可水平或垂直安裝
Physik Instrumente （PI）產(chǎn)品概述
PIglide RM系列電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確性、精度和剛性以及便捷使用，可在任意方向上安裝。 多種選項(xiàng)可組合在一起創(chuàng)建一種非常適用于點(diǎn)對(duì)點(diǎn)分度或恒速掃描的解決方案。 RM平臺(tái)提供優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)精度、平面度和擺動(dòng)性能。由于無(wú)摩擦、無(wú)需維護(hù)或潤(rùn)滑，其非常適用于在無(wú)塵室中使用。
附件和可選配件
§ 編碼器
§ 可選配偏擺臺(tái)
§ 定制安裝法蘭
§ 真空接頭
§ 滑環(huán)
§ PIglide過(guò)濾器和空氣預(yù)處理器
§ 單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器
§ 花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)
Physik Instrumente （PI）應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、計(jì)量、檢驗(yàn)系統(tǒng)、校準(zhǔn)、掃描
訂購(gòu)信息
Physik Instrumente （PI）A-621.025A1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，50毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，25毫米軸頸長(zhǎng)度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，81 92線(xiàn)/轉(zhuǎn)，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
A-621.025B1
Physik Instrumente （PI）PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，50毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，25毫米軸頸長(zhǎng)度，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-623.025A1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，100毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，25毫米軸頸長(zhǎng)度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，1 5744線(xiàn)/轉(zhuǎn)，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-623.025B1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，100毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，25毫米軸頸長(zhǎng)度，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-623.050A1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，100毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，50毫米軸頸長(zhǎng)度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，1 5744線(xiàn)/轉(zhuǎn)，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-623.050B1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，100毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，50毫米軸頸長(zhǎng)度，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-624.050A1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，150毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，50毫米軸頸長(zhǎng)度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，2 3600線(xiàn)/轉(zhuǎn)，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-624.050B1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，150毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，50毫米軸頸長(zhǎng)度，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-627.075A1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，300毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，75毫米軸頸長(zhǎng)度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，4 7200線(xiàn)/轉(zhuǎn)，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）A-627.075B1
PIglideRM轉(zhuǎn)臺(tái)，空氣軸承，300毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，75毫米軸頸長(zhǎng)度，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y(cè)量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無(wú)槽、無(wú)刷三相力矩電機(jī)
Physik Instrumente （PI）帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
