半導(dǎo)體特氣應(yīng)用于晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié);
狹義的“電子氣體”特指電子半導(dǎo)體行業(yè)用的特種氣體,主要應(yīng)用于前端晶圓制造中的化學(xué)氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié);
電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性,對(duì)于半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。
由于半導(dǎo)體集成電路芯片更高性能、更高集成度發(fā)展,科技對(duì)電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的要求,電子特氣的凈化愈加關(guān)鍵和重要。
電子氣體品種多,純化方法一般多采用吸附(常溫、低溫)、精餾(古間歇精餾)、催化等方法。
現(xiàn)已有分析法:吸收法(鼓泡法)
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