真空鍍膜機(jī)專用冷水機(jī) 冷凍機(jī) 簡(jiǎn)要介紹:
(1).真空鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜體分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無(wú)光,所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮,果如真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤結(jié)合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發(fā)體自然散射,結(jié)合差工效低光澤差?,F(xiàn)在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜,解決了過(guò)去自然蒸發(fā)無(wú)法加工的膜體品種,如鍍鈦鍍鋯等等。
(2)中頻設(shè)備必須加冷卻水,原因是它的頻率高電流大。電流在導(dǎo)體流動(dòng)時(shí)有一個(gè)集膚效應(yīng),電荷會(huì)聚集在電導(dǎo)有表面積,這樣使電導(dǎo)發(fā)熱所以采用中孔管做導(dǎo)體中間加水冷卻。
(3).(主要是圓柱靶)為什么也要用水冷卻?磁控濺射靶在發(fā)射時(shí)會(huì)產(chǎn)生高溫會(huì)使射槍變形,所以它有一個(gè)水套來(lái)冷卻射槍。同時(shí)還有一個(gè)重要原因磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好。
從更深層次研究電子在非均勻電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)規(guī)律 ,探討了磁控濺射的更一般原理以及磁場(chǎng)的橫向不均勻性及對(duì)稱性是磁約束的本質(zhì)原因。磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好、裝置性能穩(wěn)定
(4). 冷水機(jī)是一種水冷卻設(shè)備,能提供恒溫、恒流、恒壓的冷卻水設(shè)備。其工作原理是先向機(jī)內(nèi)水箱注入一定量的水,通過(guò)制冷系統(tǒng)將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入需冷卻的設(shè)備,冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,達(dá)到冷卻的作用。冷卻水溫可根據(jù)要求自動(dòng)調(diào)節(jié),長(zhǎng)期使用可節(jié)約用水。
冷水機(jī)能控制真空鍍膜機(jī)的溫度,以保證鍍件的高質(zhì)量。如果不配冷水機(jī)就不能使真空鍍膜機(jī)達(dá)到高精度、高效率控制溫度的目的,因?yàn)樽匀凰退岫疾豢杀苊獾厥艿阶匀粴鉁氐挠绊?,而且此方式控制是極不穩(wěn)定的。
冷水機(jī)具有完全獨(dú)立的制冷系統(tǒng),絕不會(huì)受氣溫及環(huán)境的影響,水溫在5℃ ~30℃ 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)控制,因而可以達(dá)到高精度、高效率控制溫度的目的,冷水機(jī)設(shè)有獨(dú)立的水循環(huán)系統(tǒng)
水冷式(型)工業(yè)冷水機(jī)的具體參數(shù):
1.水冷型工業(yè)冷水機(jī)技術(shù)參數(shù)表(一) |
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參數(shù) Parameter |
型號(hào) |
JHT- 03W |
JHT- 05W |
JHT- 08W |
JHT- 10W |
JHT- 15W |
JHT- 20W |
JHT- 30W |
JHT- 40W |
JHT- 50W |
|
KW |
9.59 |
15.91 |
24.85 |
31.83 |
50.14 |
67.14 |
99.19 |
129.06 |
153.91 |
|
kczl/h |
8251 |
13690 |
21375 |
27370 |
43120 |
57748 |
85303 |
110984 |
132359 |
總輸入功率 |
KW |
2.8 |
4.3 |
6.8 |
8.4 |
13.1 |
17.3 |
25.6 |
33.1 |
42.5 |
電源 |
3N~380V/415V 50HZ/60HZ |
|||||||||
制冷劑 |
充注量Fill (kg) |
1.7 |
2.8 |
2.2×2 |
2.8×2 |
4.2×2 |
5×2 |
7.5×2 |
10×2 |
12.5×2 |
壓縮機(jī) |
功率Motor (kw) |
2.25 |
3.75 |
3×2 |
3.75×2 |
5.5×2 |
7.5×2 |
11.3×2 |
15×2 |
18.8×2 |
冷卻水 |
水量Flow (m3/h) |
2.06 |
3.42 |
5.34 |
6.85 |
10.78 |
14.44 |
21.32 |
27.74 |
33.09 |
|
水阻力P.D. (Kpa) |
28 |
34 |
38 |
34 |
28 |
38 |
36 |
35 |
42 |
冷凍水 |
水量Flow (m3/h) |
1.65 |
2.74 |
4.27 |
5.47 |
8.62 |
11.55 |
17.06 |
22.19 |
26.48 |
|
水箱Tank (m3) |
0.038 |
0.065 |
0.11 |
0.188 |
0.285 |
0.285 |
0.405 |
0.61 |
0.61 |
水泵 |
功率Motor (KW) |
0.55 |
0.55 |
0.75 |
1.5 |
1.5 |
2.2 |
3.75 |
3.75 |
3.75 |