徠卡eM Tic 3X在技術(shù)上超越了傳統(tǒng)的離子束拋光切割設(shè)備。它使用三離子束,并可裝配冷凍樣品臺(tái)和三樣品臺(tái),可以高速率離子束轟擊樣品,得到寬且深的切割區(qū)域,獲得一個(gè)高質(zhì)量的平整的切割截面,幾乎適用于任何材料,整個(gè)樣品處理過程快速簡(jiǎn)便。
河南三離子束切割儀技術(shù)參數(shù):
? 可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm,可獲得有效切割截面面積>4mm×1mm
? 三把離子槍,離子束能量1keV-10keV,切割速率150μm/h (Si@10kV, 50μm切割高度)
? 離子束處理過程中樣品位置固定,無需偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),無投影效應(yīng),熱傳導(dǎo)性好
? 可進(jìn)行離子束切割或刻蝕,可選擇任意離子槍
? 真空泵解耦合設(shè)計(jì),無震動(dòng)傳導(dǎo)
? 觸摸屏操作面板,直觀、簡(jiǎn)易操作,可編程可軟件升級(jí)
? 可選配:液氮制冷冷臺(tái)-150°至 30°,25L液氮罐及自動(dòng)泵,具有自動(dòng)快速制冷功能
? 可選配:三樣品臺(tái),可一次連續(xù)處理三個(gè)
河南三離子束切割儀技術(shù)參數(shù):
? 可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm,可獲得有效切割截面面積>4mm×1mm
? 三把離子槍,離子束能量1keV-10keV,切割速率150μm/h (Si@10kV, 50μm切割高度)
? 離子束處理過程中樣品位置固定,無需偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),無投影效應(yīng),熱傳導(dǎo)性好
? 可進(jìn)行離子束切割或刻蝕,可選擇任意離子槍
? 真空泵解耦合設(shè)計(jì),無震動(dòng)傳導(dǎo)
? 觸摸屏操作面板,直觀、簡(jiǎn)易操作,可編程可軟件升級(jí)
? 可選配:液氮制冷冷臺(tái)-150°至 30°,25L液氮罐及自動(dòng)泵,具有自動(dòng)快速制冷功能
? 可選配:三樣品臺(tái),可一次連續(xù)處理三個(gè)樣品
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