1.MLI 系列設備為工業(yè)應用提供具有直接波長的準分子激光器。具有市場上最長的正常運行時間和可靠性以及的運營成本。由于均勻的光束輪廓和能量穩(wěn)定性,適用于要求苛刻的應用。
2.MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的重復頻率。
3.當然,如果需要,標準設置的激光器可以根據(jù)個人需求進行調(diào)整。如:準分子激光器可用的波長為 193 nm(氣體:ArF 氟化氬)和 248 nm(氣體:KrF 氟化氪)。可根據(jù)要求提供其他波長如157nm等,也可以提供如高功率版本HP
MLI 系列準分子激光器型號:
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
王博雅 QQ:2353585188 手機:18519029373 電話:010-64714988-192 傳真:010-84786709-667 郵件:sales12@handelsen.cn |
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