新聞:河北實(shí)驗(yàn)室氣路安裝氮?dú)夤艿腊惭b
一般信號(hào)發(fā)生器的輸出信號(hào)地與機(jī)殼大地為共地，MFG-2系列信號(hào)發(fā)生器的通道輸出、同步和調(diào)變輸入、輸出的連接器大地都是浮動(dòng)的，與儀器的機(jī)殼隔離。這些連接器對(duì)大地的承受隔離電壓可至±42Vpk(直流+交流峰值)，適用在浮動(dòng)電路的測(cè)試，可以多臺(tái)儀器并行輸出使用而無(wú)需考慮接地參考的問(wèn)題。MFG-2系列信號(hào)源的隔離通道設(shè)計(jì)在實(shí)驗(yàn)教學(xué)中有很多應(yīng)用，下面以橋式整理實(shí)驗(yàn)為例作簡(jiǎn)要介紹。橋式整流的電路如圖所示：根據(jù)二極管的單向?qū)щ娦?，?dāng)電路加載一個(gè)弦波信號(hào)后，經(jīng)過(guò)電路的整流，弦波信號(hào)的負(fù)半周期的波形將被反轉(zhuǎn)到正半周期。
一、集中供氣系統(tǒng)一般有高壓鋼瓶、氣體切換裝置、減壓裝置、閥門、管線、過(guò)濾器、報(bào)警器、終端箱、調(diào)節(jié)閥等部分組成。
二、集中供氣的特點(diǎn)：
經(jīng)濟(jì)性：建設(shè)一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的實(shí)驗(yàn)室空間，更換氣瓶時(shí)不需要切斷氣體，保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有點(diǎn)都來(lái)自于同一氣源，所以使用者只需要管理較少的鋼瓶，支付較少的鋼瓶租金。此種供氣方式終會(huì)減少運(yùn)輸費(fèi)用，減少退還給氣體公司空瓶中的余氣量，達(dá)到經(jīng)濟(jì)適用的目的。
安全性：氣源集中存儲(chǔ)供應(yīng)，保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。
三、施工準(zhǔn)備
施工人員在施工前應(yīng)認(rèn)真核對(duì)施工設(shè)計(jì)圖紙，按照?qǐng)D紙技術(shù)要求組織施工，嚴(yán)格貫徹執(zhí)行有關(guān)的規(guī)程、規(guī)范及質(zhì)量檢驗(yàn)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)，有變動(dòng)更改處與設(shè)計(jì)人員及時(shí)辦理設(shè)計(jì)變更洽商，不隨意更改設(shè)計(jì)圖紙，重點(diǎn)施工部位應(yīng)進(jìn)行詳細(xì)的施工技術(shù)交底。
施工隊(duì)伍進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)后，聽從發(fā)包方的統(tǒng)一安排，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)各種成品做好保護(hù)工作，做好臨時(shí)用電的安排，認(rèn)真檢查用電設(shè)備、配電箱、導(dǎo)線。
材料、設(shè)備應(yīng)有出廠合格證和材質(zhì)證明文件、檢測(cè)報(bào)告，進(jìn)場(chǎng)后會(huì)同發(fā)包方進(jìn)行質(zhì)量、規(guī)格、數(shù)量等核驗(yàn)工作并形成書面檢查記錄。
四、氣路管線敷設(shè)安裝
工程采用的316L不銹鋼管道（BA級(jí)），管道的連接方式為氬弧焊連接。
（1）氣瓶閥出口為GB標(biāo)準(zhǔn)的外螺紋形式（G5/8”），為了便于管路系統(tǒng)與氣瓶連接，故從氣瓶閥出口到管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有轉(zhuǎn)換接頭（氣瓶接頭）。
（2）為了在使用過(guò)程中容易更換氣瓶，從上述氣瓶接頭到調(diào)節(jié)閥之間應(yīng)設(shè)有耐高壓的高壓螺旋管。
（3）由于氣瓶?jī)?nèi)部的氣體壓力為20-25MPa左右，使用點(diǎn)的壓力較小，氣體壓力有變化，而且數(shù)值差距較大，故應(yīng)在氣瓶出口處設(shè)置一級(jí)減壓閥，氣體使用點(diǎn)前設(shè)置二級(jí)減壓閥。
（4）每種氣體的系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)有緊急情況下能夠快速切斷供氣的裝置，為了保證開關(guān)系統(tǒng)的方便快捷，本項(xiàng)目的開關(guān)閥采用球閥。
（5）為了防止更換器瓶時(shí)外界空氣進(jìn)入管路系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置球閥，球閥與排空管相連，排空管應(yīng)可靠連接大氣，可燃性氣體和助燃性氣體的排空管應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，排空管出口應(yīng)加裝防爆逆止閥以防止回火現(xiàn)象的發(fā)生。
（6）在易燃?xì)怏w氫氣和乙炔系統(tǒng)中，為了防止回火現(xiàn)象的發(fā)生，應(yīng)在系統(tǒng)低壓端（一級(jí)減壓閥后）加裝防爆逆止閥。
（7）氣體管路系統(tǒng)出口處，為了便于開關(guān)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)有使用點(diǎn)球閥。
（8）為了保證氣體的純度及管路系統(tǒng)的氣密性，所有管道采用316L不銹鋼管道，內(nèi)表面經(jīng)BA處理。
（9）為了便于維修和更換閥件，同時(shí)保證系統(tǒng)的氣密性，管道與閥件的連接，應(yīng)采用高壓雙卡套接頭連接。
（10）管道固定件（管夾）應(yīng)采用耐高溫材料，要求堅(jiān)固、輕巧、耐用。
（11）所用調(diào)節(jié)閥控制面板、出口點(diǎn)控制面板及所有管道上，都應(yīng)粘貼有氣體成分的氣體標(biāo)識(shí)。
（12）瓶固定架應(yīng)采用ABS工程塑料。
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半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造，晶圓測(cè)試，芯片封裝和封裝后測(cè)試組成，晶圓制造和芯片封裝討論較多，而測(cè)試環(huán)節(jié)的相關(guān)知識(shí)經(jīng)常被邊緣化，下面集中介紹集成電路芯片測(cè)試的相關(guān)內(nèi)容，主要集中在WAT，CP和FT三個(gè)環(huán)節(jié)。集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝流程示意圖WAT（WaferAcceptanceTest）測(cè)試，也叫PCM（ProcessControlMonitoring），對(duì)Wafer劃片槽（ScribeLine）測(cè)試鍵（TestKey）的測(cè)試，通過(guò)電性參數(shù)來(lái)監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定，CMOS的電容，電阻，Contact，blLine等，一般在wafer完成制程前，是Wafer從Fab廠出貨到封測(cè)廠的依據(jù)，測(cè)試方法是用ProbeCard扎在TestKey的blPad上，ProbeCard另一端接在WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)上，由WATRecipe自動(dòng)控制測(cè)試位置和內(nèi)容，測(cè)完某條TestKey后，ProbeCard會(huì)自動(dòng)移到下一條TestKey，直到整片Wafer測(cè)試完成。
施工技術(shù)要點(diǎn)：
（1）所有不銹鋼管道兩端用塑料蓋密封，在進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)后，安裝前，方可出去塑料蓋。
（2）所有管件在安裝進(jìn)系統(tǒng)前，應(yīng)用高純度氮?dú)膺M(jìn)行三遍以上吹掃。
（3）管道敷設(shè)時(shí)應(yīng)注意平直，彎管處采用彎管器，不得徒手彎曲，切斷管道時(shí)，用專用切管器操作，嚴(yán)禁用鋸子鋸斷管道。管道切斷后，應(yīng)用專用工具處理斷口，嚴(yán)禁用普通銼刀處理。
（4）在管道的行進(jìn)路線中，每隔1.5米應(yīng)設(shè)置一組管夾。
（5）管道在穿越墻體及樓板處應(yīng)設(shè)置套管，套管與管道之間的間隙應(yīng)采用不然材料填充密封。
（6）所有調(diào)節(jié)閥固定面板、所有出口點(diǎn)固定架及所有管道上，都應(yīng)貼設(shè)標(biāo)有對(duì)應(yīng)氣體的成分及濃度的氣體標(biāo)識(shí)。
（7）所有系統(tǒng)部件安裝完畢后，應(yīng)用高純度氮?dú)膺M(jìn)行三遍以上的大流量吹掃。
（8）吹掃完畢后，用高純度的氮?dú)膺M(jìn)行撿漏保壓測(cè)試，測(cè)試壓力應(yīng)為工作壓力的1.5倍。
（9）在整個(gè)施工過(guò)程中應(yīng)注意施工安全，特別是高空作業(yè)時(shí)（在梯子或腳手架上施工），應(yīng)有專人看護(hù)。
5.施工驗(yàn)收
施工結(jié)束后，我方應(yīng)會(huì)同發(fā)包方進(jìn)行集中供氣的系統(tǒng)檢查工作，檢查的內(nèi)容如下：
（1）部件材質(zhì)是否符合合同中材質(zhì)的要求。
（2）所有連接點(diǎn)是否安全可靠。
（3）管道布局是否合理、美觀。
（4）氣體標(biāo)識(shí)是否粘貼正確、美觀。
（5）管道連接是否正確。
（6）壓強(qiáng)測(cè)試：在系統(tǒng)管道中充入高純氮?dú)?，壓力與工作壓力相等，保證21小時(shí)目測(cè)所有部件是否有斷裂及變形，管道固定架及管夾是否產(chǎn)生松動(dòng)及脫落現(xiàn)象。
（7）壓降測(cè)試：在系統(tǒng)管道中充入高純氮?dú)?，壓力為工作壓力?.5倍，保壓24小時(shí)后，壓力表讀數(shù)變化是否小于0.25%。
（8）泄漏測(cè)試：在系統(tǒng)管道中充入高純氮?dú)?，壓力為工作壓力?.5倍，在系統(tǒng)所有部件連接處涂抹專用檢漏液，每隔5分鐘檢查是否有氣泡產(chǎn)生，此測(cè)試過(guò)程持續(xù)30分鐘。
6.質(zhì)量保證措施
6.1氣體管道
（1）本項(xiàng)目安裝施工的工藝應(yīng)符合以下行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定：工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范（GB50235-97）現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范（GB50236-2011）。
（2）在滿足實(shí)驗(yàn)要求的前提下，應(yīng)盡量將各種管道的管線短、彎頭少，以利于節(jié)約材料和減少阻力。
（3）在安裝及檢修過(guò)程中盡量不影響試驗(yàn)工作。
6.2施工驗(yàn)收階段做到，問(wèn)題無(wú)論大小，及時(shí)快速的解決和處理。
6.3在項(xiàng)目施工過(guò)程中，嚴(yán)格規(guī)范、明確線管管理人員的責(zé)任，做到責(zé)權(quán)分明，統(tǒng)一管理。施工現(xiàn)場(chǎng)的施工部署、質(zhì)量和施工方法由現(xiàn)場(chǎng)施工員負(fù)責(zé)。材料進(jìn)場(chǎng)檢查、存放和統(tǒng)一調(diào)配由材料員負(fù)責(zé)，施工員配合。施工過(guò)程中的質(zhì)量控制、監(jiān)督由專項(xiàng)質(zhì)檢員負(fù)責(zé)。現(xiàn)場(chǎng)安全員負(fù)責(zé)施工過(guò)程中的安全教育和監(jiān)督。項(xiàng)目部經(jīng)理主要負(fù)責(zé)對(duì)工程各項(xiàng)措施、安排的制定和落實(shí)統(tǒng)一進(jìn)行監(jiān)督和管理。
7.安全保證措施
（1）施工人員必須熟知本功臣安全技術(shù)操作規(guī)程，不得違章指揮和違章作業(yè)；在工作中要堅(jiān)守工作崗位，嚴(yán)禁酒后操作，各施工人員必須經(jīng)過(guò)安全培訓(xùn)，考試合格后，方可進(jìn)行上崗操作。新工人實(shí)習(xí)生進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)進(jìn)行安全教育，經(jīng)考試合格后方可上崗。
（2）從事高處作業(yè)的人員，必須系好安全帶，做到高掛低用。要定期檢查身體，不適宜高處作業(yè)的人員，不得從事高處作業(yè)。高處作業(yè)時(shí)衣著要靈便，所有的材料應(yīng)堆放平穩(wěn)，工具應(yīng)隨手放入工具包內(nèi)。上下傳遞物件時(shí)禁止拋擲。
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PLL中用到的濾波器限制了支持的基波頻率上限，因此在基波頻率較高時(shí)，同步采樣法一般無(wú)法支持；同樣是濾波器原因，無(wú)法很好濾除低偶次諧波，所以低偶次諧波幅值較大時(shí)，PLL就無(wú)法同步基波采樣，諧波分析結(jié)果也就完全錯(cuò)誤。頻率重心法不需要額外濾波器，采樣器件可工作在支持的采樣頻率，使有效譜線拉開的同時(shí)提高了支持的諧波頻率范圍，而為了消除泄漏的影響，需要使用更多的數(shù)據(jù)進(jìn)行傅里葉變換。所以頻率重心法引入了數(shù)倍于同步采樣法的計(jì)算量。
