正型光刻膠專用HD諧波減速機(jī)SHF-17-80-2UH在受紫外光照射后光照區(qū)光分解劑發(fā)生分解，溶于有機(jī)或無(wú)機(jī)堿性水溶液.未曝光部分被保留下來(lái)，與母版形成相同的圖形。該品為墟拍色液體。易溶于醚、酯、酮等有機(jī)溶劑，其特點(diǎn)是分辭率好，可以獲得亞微米級(jí)線寬圖形。由于感光速度快，可用于投影曝光和分步重復(fù)曝光。在相對(duì)濕度50%的環(huán)境，護(hù)對(duì)氧化硅、多晶硅以及鋁、銅、金、鉑等均有很好的茹附性和抗蝕性:其顯影和曝光操作寬容度狡、易于剝離，且耐熱性好、可以耐140℃的烘烤，圖形不變形。本品適用于大規(guī)模集成電路和電子元器件及光學(xué)機(jī)械加工工藝的制作。
