儀器型號
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VMS-3020CNC
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VMS-3030CNC
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VMS-4030CNC
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工作臺
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金屬臺尺寸（mm）
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408*508
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508*508
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608*508
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玻璃臺尺寸（mm）
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250*350
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350*350
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450*350
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運(yùn)動行程（mm）
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300*200
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300*300
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400*300
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儀器重量（kg）
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250
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300
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350
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外形尺寸（長*寬*高）（mm）
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950*750*1100
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1022*661*1037
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1022*743*1027
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傳動型式
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X、Y、Z軸均采用馬達(dá)驅(qū)動滾珠絲桿傳動的型式
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數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)
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光學(xué)尺解析度：X、Y、Z軸0.0005mm 電腦自動采樣
專業(yè)軟件進(jìn)行資料分析處理 X、Y坐標(biāo)示值誤差：≤（3+L/200）um
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影像系統(tǒng)
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0.7~4.5X變焦鏡頭，總視頻放大倍率為30~190X，配2X物鏡時(shí)，總視頻放大倍率可達(dá)380X
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照明系統(tǒng)
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連續(xù)可調(diào)式LED環(huán)形表面光及輪廓光，根據(jù)放大倍率確定最大光源
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X、Y軸馬達(dá)運(yùn)動速度<120mm/s Z軸馬達(dá)運(yùn)動速度<60mm/s
馬達(dá)運(yùn)動步長0.4mm/步 馬達(dá)分辨率1000步/轉(zhuǎn)
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