儀器型號(hào)
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VMS6040CNC
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工作臺(tái)
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X、Y軸行程（mm）
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600*400
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Z軸行程（mm）
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200調(diào)焦及輔助測(cè)量
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工作臺(tái)尺寸（mm）
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760*560
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玻璃臺(tái)面尺寸（mm）
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450*650
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傳動(dòng)型式
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X、Y、Z軸均采用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿傳動(dòng)的型式
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數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng)
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光學(xué)尺解析度：X、Y、Z軸0.0005mm 電腦自動(dòng)采樣
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專業(yè)軟件進(jìn)行資料分析處理 X、Y坐標(biāo)示值誤差：≤（3+L/200）um
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影像瞄準(zhǔn)系統(tǒng)
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高解析度CCD彩色攝像機(jī)
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0.7~4.5X變焦鏡頭，總視頻放大倍率為30~190X，配2X物鏡時(shí)，總視頻放大倍率可達(dá)380X
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照明系統(tǒng)
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連續(xù)可調(diào)式LED環(huán)形表面光及輪廓光，根據(jù)放大倍率確定最大光強(qiáng)
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X、Y軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度
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<120mm/s
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Z軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度
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<60mm/s
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馬達(dá)運(yùn)動(dòng)步長(zhǎng)
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0.4mm/步
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馬達(dá)分辨率
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1000步/轉(zhuǎn)
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儀器外形尺寸（L*W*H）
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1840*960*1867
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儀器重量（kg）
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800
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