儀器型號(hào) |
VMS5030汽浮 |
VMS6040汽浮 | |
工作臺(tái) |
金屬臺(tái)面尺寸(mm) |
760*640 |
730*530 |
玻璃臺(tái)面尺寸(mm) |
550*350 |
650*450 | |
運(yùn)動(dòng)行程(mm) |
500*300 |
600*400 | |
數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng) |
Z軸升降行程:200mm 工作距離:92mm
X、Y、Z數(shù)顯解析度:0.0005mm X、Y坐標(biāo)示值誤差:≤(3+L/200)um | ||
影像系統(tǒng) |
攝影機(jī):美國(guó)TEO牌CCD攝像機(jī)
變焦物鏡倍率:(美國(guó):NAVITAR)0.7~4.5X或自動(dòng)變焦鏡頭
視頻總倍率:30X~190X
物方視場(chǎng):10.6~1.6mm 表面光源與透射光源均用LED,48組可編輯 | ||
測(cè)量系統(tǒng) |
Quickmeasuring全自動(dòng)測(cè)量軟件 |