儀器型號(hào) |
STM-2515 | |
工作臺(tái) |
金屬臺(tái)面尺寸(mm) |
450*280 |
玻璃臺(tái)面尺寸(mm) |
306*196 | |
運(yùn)動(dòng)行程(mm) |
250*150*100 | |
數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng) |
X、Y、Z數(shù)顯解析度:0.0005mm
X、Y坐標(biāo)示值誤差:≤(3+L/200)um | |
儀器重量 |
120kg | |
儀器規(guī)格 |
530*540*850mm | |
目鏡 |
SWF10/20 | |
選用物鏡 |
2X/0.055 5X/0.14 10/0.28 50/0.42 |